新毅东获得光刻机光强检测体系专利显着提高检测精度
金融界2025年1月7日音讯,国家知识产权局信息数据显现,新毅东(北京)科技有限公司获得一项名为“一种光刻机光强检测体系”的专利,授权公告号 CN 222259839 U,请求日期为 2024年4月。
专利摘要显现,本实用新型供给了一种光刻机光强检测体系,包含光强信号收集电路、ADC转化电路、MCU模块和通讯模块。光强信号收集电路经过火压电路、差分扩大电路、低通滤波电路、电压跟从器和钳位维护电路,完成对光强信号的准确收集和维护。其间,分压电路采纳三个串联电阻规划,中心电阻为滑动变阻器,便利调理信号强度并削减搅扰。差分扩大电路对信号进行差分扩大。ADC转化电路将模拟信号转化为数字信号,并经过SPI通讯协议传输至MCU模块。MCU模块对数字信号做处理和剖析,并经过通讯模块将成果输出至外部设备或体系。本体系适用于光刻机光强查验测验范畴,可以显着提高检测点处光照强度的检测精度,为光照均匀性评判供给重要依据。
天眼查资料显现,新毅东(北京)科技有限公司,成立于2014年,坐落北京市,是一家以从事科技推广和使用服务业为主的企业。企业注册本钱3589.4516万人民币,实缴本钱870.5502万人民币。经过天眼查大数据剖析,新毅东(北京)科技有限公司共对外出资了12家企业,参加招投标项目55次,知识产权方面有商标信息22条,专利信息78条,此外企业还具有行政许可7个。